東洋碳業株式會社2022年10月27發布消息稱,為了應對Si(硅)半導體及SiC(碳化硅)半導體等化合物半導體用途的旺盛需求, 決定對其位于日本香川縣的的工廠進行資本投資,投資金額達70億日元,以提高高純度石墨產品和SiC涂層石墨產品的生產能力。
該香川縣工廠生產及銷售半導體設備結構部件中的高性能石墨產品,由于物聯網、AI 和 EV 等技術的進步,對石墨產品的需求也在增加。
在包括Si半導體和SiC半導體等化合物半導體的晶圓制造工藝中,除了溫度超過1000度外,由于半導體工藝的小型化,作為結構構件的石墨也需要高純度,因此許多產品都采用高純度處理石墨,具有高耐熱性。
此外,高純度石墨產品也用于半導體制造工藝,如離子注入,以及各種應用,如太陽能電池和光纖制造。SiC 涂層石墨產品在各向同性石墨上涂有 SiC 薄膜,用于 SiC 半導體的外延工藝,該工藝可抑制石墨基材顆粒和氣體的產生,是處理高壓和大電流的功率半導體的代表。 特別是,隨著電動汽車和節能相關市場的增長,對SiC半導體的需求不斷增長。
根據確保半導體市場需求在中長期內增長的增長戰略,公司將投資約70億日元,提高高純度石墨和SiC涂層石墨產品的生產能力,以滿足市場需求。
中期管理計劃計劃在2022-2026年的五年內實施370億日元的資本投資,其中六成為戰略投資。 在資本投資方面,不僅致力于提高產量,還通過進一步追求質量、通過自動化等方式節省人力,提高生產效率。 因此,到2025年,高純度石墨產品的生產能力將比2022財年高出約1.5倍,SiC涂層石墨產品的產能將在2024年提高1.5倍。 今后,我們將通過加強生產和銷售系統,準確把握客戶的需求和市場趨勢,實現穩步增長。
[投資概述]
提高高純度石墨產品的生產能力(詫間事業所(香川縣三豐市))
(1)投資內容 高純度化處理爐(建筑物擴建)
(2)投資金額 約50億日元
(3)增強能力 約1.5倍(與2022年度相比)
4運轉時期 2025年
SiC涂層處理能力 提高石墨產品的生產能力(大野原生產技術中心(香川縣觀音寺市)
(1)投資內容 SiC涂層處理爐
(2)投資金額 約20億日元
(3)增強能力 約1.5倍(2022年度相比)
4運轉時期 2024年
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